國內外潔凈技術的發展都是隨著科學技術的發展特別是軍事工業、航天、電子和生物醫藥等工業的發展而不斷發展的。現代工業產品和現代化科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性。

要生產這些產品，就必須達到相應的受控生產環境的空氣潔凈度等級。對于現今以“微型電腦”為手段的電子信息時代，產品的高質量、高可靠性的重要意義是不言而喻的。基于這種趨勢，潔凈技術的發展已成為現代工業生產和科學實驗活動*的重要標志之一。

潔凈室設計（包括潔凈空調設計）是潔凈技術的重要組成部分。潔凈廠房內的壓力，溫度，濕度，空氣流速以及空氣潔凈度等因素控制的好壞直接影響到生產質量是否達標。 

一、潔凈室污染控制技術方案

空氣凈化的主要任務是根據各種產品生產工藝、不同工序、各類房間的空氣潔凈度等級需要，采取空氣過濾技術措施將潔凈室內空氣中懸浮的粒狀或化學分子污染物質降低到允許的濃度下。

潔凈室內的污染源主要來自四個方面：

1、大氣中含塵、含菌、凈化空調系統中新風帶入的塵粒和微生物；

2、作業人員發塵；

3、建筑圍護結構、設施的產塵，這里包括墻、頂棚、地面和一些裸露管線的產塵；

4、設備及產品生產過程的產塵。

為保證產品環境或其他用途的潔凈室所要求的空氣潔凈度，要采取多種綜合技術措施才能達到要求。這些綜合措施包括：應采用產生污染物少的生產工藝及設備，或采取必要的隔離和負壓措施防止生產工藝產生的污染物質向周圍擴散，采用產塵少、不易滋生微生物的室內裝修材料及器具；減少人員及物料帶入室內的污染物質；維持生產環境相對于室外或空氣潔凈度等級要求高的環境有一定的正壓，防止室外或鄰室的空氣攜帶污染物質通過門窗過其他縫隙、孔洞侵入；加強潔凈室的管理，按規定進行清掃、滅菌等。

除采取上述種種技術措施之外，為使生產環境或其他用途的潔凈室室內環境控制在所要求的空氣潔凈度等級，重要的技術措施是需要送入足夠量的經過處理的清潔空氣，以替換或稀釋室內在正常工作時所產生的污染空氣。潔凈室的空氣凈化處理就是根據房間不同的潔凈度等級要求，采取不同方式送入經過處理的數量不等的清潔空氣，同時排走相應數量的攜帶有污染物質玷污的空氣，靠這樣的動態平衡，使室內環境維持在所需的空氣潔凈度等級。

目前潔凈室對送入空氣的潔凈方法，重要和使用廣泛的方式是空氣過濾法。送入潔凈室的清潔空氣，主要是靠送風系統的各個部位設置不同性能的空氣過濾器，用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。

下面將對潔凈室污染控制領域中比較新穎的技術方案進行介紹：

（1）用傳統的噴水室濕式處理空氣法來處理新風中的化學物質。近幾年來許多 開展了很多研究證明了其有效性。

（2）采用有殺菌作用的HEPA過濾器(殺菌酵素過濾囂)。過去采用金屬離子的毒性來殺菌，如銀型陽高于交換纖維制成的空氣過濾器，現今可采用從生物體中提取的天然酵素將細菌的細胞壁溶解以達到殺菌的目的，是一種安全的滅菌措施，它防止了過濾器上微生物增殖所產生的二次污染。

（3）采用UV光電子空氣凈化方法。這種方法不同于普通的靜電過濾器。該方法利用將紫外線照射在金屬膜層上產生的光電效應，在空氣中產生電子和負離子使流經的污染物質荷電并被集塵極捕集(圖1所示)。目前在有限的小空間范圍內已有應用。

（4）采用除海鹽粒子過濾器。沿海岸地區空氣中含鹽量較多，臺風等強風作用下會更高。

這種狀況對微電子工廠極為不利。現在有兩種措施：

1)所采用的濾材即使在 鹽分附著后不容易析出；

2)在空調箱進入段處先設噴水段及檔水板，可先捕集90％的海鹽粒子，再經普通的空氣過濾器清除未被捕集的粒子。噴霧用水應直接排放出，不予回收。對于臨海設置的微電子工廠在空調凈化裝置中應予考慮。

（5）采用智能型空氣離子凈化系統。近幾年來歐洲開發了一種智能化凈化系統，它利用離子發生工作單元的高壓電離原理，釋放出穩定的正負電氧離子族，帶電氧離子與VOC物質發生反應，以達到去除臭味凈化空氣的目的。

為保證室內空氣質量處于理想狀態，該系統還配有智能化控制系統，通過送風管上的風速、濕度和傳感器及回風管和新風管中的空氣品質傳感器并將檢測數據傳到電離控制器，以控制離子發生單元的工作強度，自動控制室內的空氣品質，同時這些數據通過傳送器和網絡，可以進行遠程監控。

（6）采用新型空氣吹淋室。傳統的吹淋室對人體吹淋停止后，小室內的含塵空氣有可能被帶入車間，新改進的吹琳室，具有快速自凈的功能，當停止吹淋氣流后，可部分轉換成頂部垂直氣流，這樣可使小室內空氣含塵量很快降低，達到自凈效果。

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