在凈化車間中空氣過濾器是實現空氣潔凈的主要設備。在凈化車間空氣潔凈系統中，一般對空氣的處理采用三個級別的過濾方式，即初效空氣過濾器、中效空氣過濾器和高效空氣過濾器。

一、凈化車間初效空氣過濾器主要是處理空氣中的10μm以上沉降性顆粒和異物，對于0.3μm塵粒效率小于20%，相當于質量效率40%-90%，其阻力不大于30Pa，因此多用于過濾10-100μm的塵粒，其濾料一般使用粗孔、中孔泡沫塑料和無紡布等；通過的風速一般為0.5-3m/s，常將濾料做成塊狀、袋式等，其清掃和更新周期由其具體的氣象條件和空氣中的含塵濃度確定。初效過濾器種類較多，根據使用濾料可分為聚氨酯塑料過濾器、金屬網格浸油過濾器、自動浸油過濾器等，在安裝時應考慮便于拆卸和更換濾料，并使過濾器與框架、空調器之間保持嚴密。　

二、凈化車間中效空氣過濾器的有效捕集塵粒的粒徑大于1μm時，對于粒徑為0.3μm塵粒計數效率為20%-90%，其空氣阻力小于等于100Pa，中效空氣過濾器主要用于過濾1-10μm的塵粒，濾料一般采用細孔泡沫塑料、玻璃纖維和無紡布等，通過過濾器的風速一般為0.05-0.3m/s，為保證通過過濾器的風量，常將濾料做成袋式等形狀，以增加過濾面積；中效過濾器的安裝與初效過濾器的安裝相同，一般安裝在空氣器內或特制的過濾器箱內，安裝時要嚴密，并便于拆卸和更換。

三、凈化車間高效空氣過濾器是空氣潔凈系統的重要部件，高效空氣過濾器主要用于過濾微小的灰塵顆粒，塵粒的粒徑一般大于0.3μm，其濾料一般采用玻璃纖維和合成纖維，過濾風速一般0.01-0.03m/s；為確保過濾風量，采用增大過濾面積的方法，此類空氣過濾器在制作中一般是將濾料多次折疊并在兩層折疊濾紙之間用波紋板進行分離。安裝前須檢查過濾器質量，確認無損壞方可安裝；安裝時若發現安裝用的過濾器框架尺寸不對或不平整，只能修改框架，使其符合要求以確保連接嚴密，不得修改過濾器，更不能因為框架不平整而強行連接；高效過濾器開箱檢查和安裝時，須在空氣潔凈系統安裝完畢、調試合格并經運轉12h以上，吹凈系統內的浮塵，空調器、高效過濾器箱、風管內及潔凈房間經過清掃、空調系統各單體設備試運轉后及風管內吹出的灰塵量穩定后才能進行，以避免高效過濾器受到污染；過濾器框架之間必須作密封處理， 采用閉孔海綿橡膠板，也可不用密封墊，而改用硅膠涂抹密封，密封墊必須采用梯形拼裝方法，若用硅橡膠密封時，涂抹前一定要先去除過濾器和框架上的粉塵，再飽滿均勻的涂抹硅橡膠。對潔凈度有嚴格要求的空調系統，應在送風口前用高效過濾器消除空氣中微塵，常在高效過濾器前用初效、中效過濾器串聯使用以延長其使用壽命。